臭氧发生器的原料气体含有不同含量的其他物质时会对臭氧产量产生怎样的影响?

商用臭氧发生器的主要原料气体有氧气、空气和富氧气体，但是其臭氧产量远远低于理论值。因此，学者们曾尝试在主要原料气体中添加其他气体成分，以提高臭氧产量。同时，这些基础研究也为分析不同含量的其他物质对臭氧产量的影响提供了理论依据。

研究发现，当在氧气源中分别添加CO2和H2O时，臭氧浓度随着混合气体中二者体积分数的增大而减小；当氧气中混有N2O时，臭氧的产生会大幅度减少，当氧气源或空气源中含有70%的N2O，臭氧浓度降到2μL/L；氧气源中随着H2、 CCl2F2和Ar体积分数的增大，臭氧产量降低；

当氧气源中添加N2和CO时，臭氧产量会随其体积分数的增大先增大后减小；也有文献认为当氧气源中N2浓度在20%～30%时，产生的臭氧浓度最大；当氧气源中含有碳氢化合物和卤代烃时，它们会消耗氧原子，从而减少臭氧的产生，当碳氢化合物含量>1%时，无臭氧生成；在空气中添加体积分数在0.08%～0.8%的SF6，臭氧产量随着其体积分数增大而增大；而当采用氧气源时，SF6的添加会使臭氧浓度下降。

有些气体成分的影响尚存争议，如在氧气源中添加SF6，有的研究认为添加含量小于0.1%的SF6时有利于臭氧的产生，而有的研究则得出了相反的结论。同样，对于N2和CO的影响也存在着争议，有文献认为随着这两种物质含量的增大，臭氧浓度先增大后减小，而有的文献则认为随着这两种物质体积分数的增大，臭氧浓度单调递减；

有些气体则会产生有利的影响，如在空气源中添加少量的SF6，可以提高臭氧浓度，因为SF6具有高电绝缘性和灭弧性，会增大放电室的放电电压，增加电场强度，继而有利于形成高能电子，而这些粒子是产生氧原子和形成臭氧的先决条件，同时，SF6的电子碰撞分解和电子附着分解反应消耗部分使臭氧分解的低能电子，进而减少臭氧的分解，提高臭氧浓度。

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